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本发明题为电容式微机械加工超声换能器(CMUT)装置及制造方法。本发明提供了一种形成电容式微机械加工超声换能器(CMUT)装置的方法,该方法包括将CMUT衬底结合到绝缘体上硅(SOI)衬底。CMUT衬底具有第一厚度,并且SOI衬底包括操作件、掩埋氧化物层和装置层。CMUT衬底或SOI衬底中的至少一者包括图案化介电层。装置层结合到图案化介电层以形成多个密封腔,并且装置层形成该多个腔的隔膜。该方法还包括将CMUT衬底的第一厚度减小至第二厚度,以及从CMUT衬底的与第一表面相对的第二表面形成多个硅通孔
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113304986 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110206829.7
(22)申请日 2021.02.24
(30)优先权数据
16/802,34
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