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本发明公开了一种高温酸化缓蚀剂,其包括组分缓蚀主剂、辅剂A和辅剂B。缓蚀主剂、辅剂A、辅剂B的质量比为10:3:1。将缓蚀主剂、辅剂A和辅剂B混合形成缓蚀剂,使用时用乙醇溶解成缓蚀剂溶液。缓蚀主剂的制备方法是:将氰基胍、4‑(((4‑氯吡啶‑2‑基)氧基)甲基)苯甲腈以及氢氧化钾在溶剂乙二醇单乙醚中,120℃条件下反应2小时,生成产物6‑(4‑(((4‑氯吡啶‑2‑基)氧基)甲基)苯甲腈)1,3,5‑三嗪‑2,4,二胺,即为缓蚀主剂。辅剂B由原料N,N‑二甲基胺、草酸在催化剂存在下,温度90℃反
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113278409 B
(45)授权公告日 2022.04.29
(21)申请号 202110692034.1 CA 2839691 A1,2012.12.27
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