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本发明提供一种流量测量方法和流量测量装置,能高精度地测量气体的流量。在流量测量方法中:测量第一、第二流路的气体的第一压力;重复进行向第一流路的气体的供给和停止,来向第一、第二流路供给气体;在供给气体时,测量从各开信号到关信号期间的气体供给时间;测量第一、第二流路的气体的第二压力和温度;在将第一、第二流路间关闭并从第二流路进行了排气后,测量第二流路的气体的第三压力;在第一、第二流路进行了连接的状态下,测量第一、第二流路的气体的第四压力;基于第一~第四压力和温度来计算被供给到第一、第二流路的气体流量
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113295225 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110175393.X
(22)申请日 2021.02.09
(30)优先权数据
2020-0284
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