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2023-06-20 发布于四川
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提供使等离子体密度的均匀性提高的电感耦合天线和等离子体处理装置。一种电感耦合天线，其为矩形框状，在对载置于载置台的载置面的矩形基板进行等离子体处理的处理容器内形成生成所述等离子体的感应电场，并具有与所述载置面相对的相对面，其中，该电感耦合天线具有：平面部，其位于所述相对面且将4个天线线材卷绕为位置各错开90°；以及纵卷部，其位于所述天线线材各自的末端，绕与所述相对面平行且与所述矩形框的角部交叉的卷绕轴线一边形成共用所述相对面的底部平面部一边以纵向卷绕的方式进行卷绕。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113299531 A (43)申请公布日 2021.08.24 (21)申请号 202110179866.3 (22)申请日 2021.02.09 (30)优先权数据 2020-0287

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