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三维测量装置(101)具备:一个或多个光源部(102),其对被测量物(SA)照射具有规定图案的测量光(105);一个或多个摄像部(103),其对被照射了测量光(105)的被测量物(SA)进行摄像;测量部(104),其基于摄像部(103)的摄像结果测量被测量物(SA)的三维形状,光源部(102)由M点振荡的S-iPMSEL(1)构成。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113295110 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110187715.2 H01S 5/06 (2006.01)
(22)申请日 20
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