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本发明公开了一种微瓦级微电容测量方法及电路,电路包括电容转换电路、寄生消除电路、逻辑控制电路及量化电路;电容转换电路用于分别对待测电容、参考电容进行不断充放电,产生周期信号,通过环形振荡器将待测电容与参考电容转换成周期信号T1和T2;周期信号T1被2n倍分频后产生使能信号,使能信号用于在量化电路内部作为计数器的控制信号,同时作为逻辑控制电路的输入信号;寄生消除电路,用于连接待测电容和电容转换电路,通过切换开关对待测电容及寄生电容进行多次不同分组测量,通过差分方式消除寄生电容对测量结果的影响。本发
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113295930 B
(45)授权公告日 2022.03.29
(21)申请号 202110598506.7 审查员 王倪颖
(22)申请日 2021.05.31
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