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本发明公开了一种大颗粒高纯、超高纯结晶二氧化硅的制备方法,首先以粒径50μm以上的非晶态二氧化硅粉末为原料,再经过水热法或高温处理得到结晶二氧化硅。本发明所得结晶二氧化硅粒度分布范围为45~400μm,杂质元素总含量低于20ppm或30ppb,采用简单可控的制备工艺人工合成大颗粒高纯、超高纯结晶二氧化硅,可为解决高新科技领域大颗粒高纯、超高纯结晶二氧化硅材料不足的现状提供新方法。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113307275 B
(45)授权公告日 2022.08.05
(21)申请号 202110244316.5 (56)对比文件
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