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本发明公开一种微型离子推力器的栅极组件装配结构及装配方法,包括陶瓷底座、屏栅、加速栅和陶瓷垫片,陶瓷底座通过螺栓固定在推力器主体上,屏栅和加速栅安装在陶瓷底座上;屏栅和加速栅均由圆形金属薄片经化学刻蚀加工而成,屏栅和加速栅的一面保持平整,另一面为刻蚀区域形成的凹槽,且屏栅和加速栅上的刻蚀区域与推力器主体的截面积相等;屏栅和加速栅上的刻蚀区域内加工有栅极孔;屏栅带有凹槽的一侧朝向推力器主体并直接放置在陶瓷底座上,陶瓷垫片设置于屏栅和加速栅之间,加速栅具有凹槽的一侧朝向外部;陶瓷垫片与屏栅的厚度之差
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113279930 B
(45)授权公告日 2022.07.12
(21)申请号 202110731821.2 CN 110230581 A,2019.09.13
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