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本公开涉及半导体装置与其制造方法。半导体装置包括第一源极/漏极结构,耦接至沿着第一方向延伸的第一导体通道的末端。半导体装置包括第二源极/漏极结构,耦接至沿着第一方向延伸的第二导体通道的末端。半导体装置包括第一内连线结构,延伸穿过层间介电层并电性耦接至第一源极/漏极结构。半导体装置包括第二内连线结构,延伸穿过层间介电层以电性耦接至第二源极/漏极结构。半导体装置包括第一隔离结构,位于第一源极/漏极结构与第二源极/漏极结构之间,并延伸至层间介电层中。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113314612 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110457684.8 H01L 21/768 (2006.01)
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