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本发明公开了一种接触型力和声复合传感器,包括壳体和探针,壳体内部设有腔体,腔体内从上至下依次设有弹簧、上电极、压电薄膜、下电极,下壳体的一端设有限位块,限位块可以卡住探针,探针的上表面与下电极的下表面紧密接触,并使位于上部的弹簧处于压缩状态,探针的另一端从壳体的底部伸出。本发明可以同时测量通过探针传导的力信号和声信号的变化量,并消除了空气噪声对有效信号的干扰,灵敏度高,响应频带宽,测试精度高,结构合理。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113295192 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110538991.9 G01D 11/24 (2006.01)
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