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本发明属于激光技术领域,提供了一种振镜电机,主要包括定子、转子、限位装置以及位置反馈装置。当满足一定规律的控制电流流过振镜电机上的绕线线圈时,转子会产生相应的运动摆角,进一步带动外部光学器件产生运动,从而达到实现光学扫描的目的。因为该振镜电机在转轴安装有圆光栅编码盘或模拟式光电池式传感器作为反馈装置与转轴同步转动,而该类反馈装置具有抗干扰性强和分辨率高特点,所以可以实现振镜电机的高精度的闭环控制,并且性能稳定。又因为限位装置中设置有减震环,所以可以降低转子在高速运转时得超程冲击,从而有效提高振镜
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113285538 A
(43)申请公布日 2021.08.20
(21)申请号 202110651886.6
(22)申请日 2021.06.11
(71)申请人 上海理工大学
地址
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