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本发明公开了一种用于光刻胶组合物的酸抑制剂,其酸度系数pKa值为8‑12,所述酸抑制剂的结构中含有氟原子,每摩尔酸抑制剂中含有氟原子的含量小于或等于6摩尔。此外,本发明还公开了一种制备上述的酸抑制剂的制备方法,所述制备方法包括如下步骤:步骤A:将含有羟基的单体通过聚合反应得到相应的聚合物;步骤B:将步骤A所得的聚合物通过氟化反应得到所述的酸抑制剂。另外,本发明还公开了一种光刻胶组合物。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113296360 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110559802.6
(22)申请日 2021.05.21
(71)申请人 上海邃铸科技有限公司
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