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本发明公开一种测量离子密度对相对介电常数影响的装置及测量方法,包括主控装置、空心腔体结构、射频收发装置、电气控制装置以及真空控制装置,主控装置分别与真空控制装置以及电气控制装置连接,真空控制装置、射频收发装置、电气控制装置分别与空心腔体结构连接;真空控制装置与电气控制装置接收主控装置的控制信号,改变空心腔体内部状态,通过射频收发装置检测不同离子密度状态下等离子体信号功率,计算出相对介电常数,分析不同离子密度对入射信号相位的影响;本发明精确控制等离子体密度,在等离子体诊断中,将离子密度对等离子体介
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113311247 B
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202110592735.8 审查员 倪秀敏
(22)申请日 2021.05.28
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