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本发明的实施例涉及一种半导体器件,包括:衬底;两个源极/漏极(S/D)区,位于衬底上方;沟道区,位于两个S/D区之间,并且包括半导体材料;沉积的电容器材料(DCM)层,位于沟道区上方;介电层,位于DCM层上方;以及金属栅极电极层,位于介电层上方。本发明的实施例还涉及一种形成半导体器件的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113314520 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202011262547.0
(22)申请日 2020.11.12
(30)优先权数据
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