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本发明涉及一种衬底处理装置。所有处理单元中,处理室、药液配管空间及排气室沿着搬送空间排列配置,且从搬送空间侧观察时,在处理室的一侧配置着药液配管空间,并以隔着处理室与药液配管空间对向的方式配置着排气室。由于排气室隔着处理室与药液配管空间对向配置,因此能够防止排气管妨碍配管通过的通路,所述配管是用来向保持在保持旋转部上的衬底供给药液。另外,以往是由2种处理单元构成,而本发明中通过1种处理单元即可解决。因此,能够使零件在所有处理单元中共通化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113314435 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202011373950.0
(22)申请日 2020.11.30
(30)优先权数据
2020-0303
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