一种C4F7N混合气体红外光谱多功能检测装置.pdfVIP

一种C4F7N混合气体红外光谱多功能检测装置.pdf

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一种C4F7N混合气体红外光谱多功能检测装置,包括采用多个检测室结构的气体池,检测室一侧布置红外光源和光电检测传感器,另一侧布置可更换的滤光片,并且各滤光片的透光波长互不相同;红外光源发出的红外光直射至镀金反射镜,镀金反射镜将红外光反射至各滤光片进行过滤,使得特定波长的红外光射入至对应检测室内,光电检测传感器检测被C4F7N混合气体吸收后的红外光强度,并将光强信号转为电信号;红外光包括:波长为750~780cm‑1的红外光、C4F7N混合气体分解组分对应波段的红外光,分别用于对C4F7N混合气体

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113340840 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110800078.1 G01N 21/27 (2006.01)

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