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用于静电卡盘的方法及工具.pdfVIP

用于静电卡盘的方法及工具.pdf

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    此处所述的实施例涉及用于监控静电卡紧性能的方法及工具。性能测试仅需要一个翘曲的基板及一个参考基板来执行。为了运行测试，参考基板定位于工艺腔室中静电卡盘上，且翘曲的基板定位于参考基板上。电压从功率源施加至静电卡盘，产生静电卡紧力以将翘曲的基板紧固至参考基板。此后，渐进地减少施加的电压，直到静电卡紧力太弱而无法将翘曲的基板维持在平坦的形式，导致翘曲的晶片解卡紧。通过使用传感器在沉积期间监控腔室的阻抗，可识别解卡紧的阈值电压，在此处参考基板的阻抗和翘曲的基板的阻抗偏移。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366624 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202080011909.0 J ·C ·罗查－阿尔瓦雷斯　 (22)申请日 2

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