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本申请公开了一种工件表面形貌的扫描方法,包括从初始视场区开始,按照设定的顺序对所有视场区进行聚焦扫描;其中,对于非初始视场区,首先获取与当前待检测非初始视场区相邻的前一个视场区的实际聚焦面位置,然后根据已检测的邻近视场区的实际聚焦面位置得到当前待检测非初始视场区的扫描区间,最后控制测量探头在扫描区间内对非初始视场区进行聚焦扫描,以获取该非初始视场区的聚焦面位置。由于任意一非初始视场区的扫描区间是根据与其邻近的前一个或前几个视场区的实际聚焦面位置来确定的,使得各视场区的扫描区间是动态变化的,既可以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113358056 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110601244.5
(22)申请日 2021.05.31
(71)申请人 深圳中科飞测科技股份有限公司
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