- 1、本文档共13页,其中可免费阅读12页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种任意曲率球面微结构的可控加工方法。根据一实施例,一种制备任意曲率球面微结构的可控方法可包括:制备光刻胶层;制备曝光版图,所述曝光版图是灰度图,每个像素的灰度值对应于该像素的曝光量;由激光直写曝光设备使用所述曝光版图对所述光刻胶层进行激光直写曝光,其中激光束对光刻胶层上的每个点的曝光量与所述曝光版图上的对应像素点的灰度值相对应;对曝光后的光刻胶层进行显影,以在所述光刻胶层上产生与所述曝光版图对应的球面微结构;以及对所述光刻胶层进行回流处理以消除光束拼接产生的条纹。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113341663 B
(45)授权公告日 2022.07.08
(21)申请号 202110718333.8 G03F 7/20 (2006.01)
(22)申请日 2021.06.
文档评论(0)