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一种量子点近红外气体传感器以及制备方法.pdf

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    本发明公开一种量子点近红外气体传感器以及制备方法，属于气体传感器技术领域，将集成光学天线的量子点光电探测器、气室、光源、信号处理电路进行片上集成，该气体传感器可将检测到的气体量转换成可用输出电信号，最后读出气体浓度信息。本发明中，红外气体传感器的核心部件为量子点光电探测器，与光学天线直接集成实现窄带滤光并且提高其灵敏度，取代分立滤光片元件，减小红外气体传感器体积，并提出适用于光子型探测器的后端信号检测与放大电路，结合气室、光源制备成NDIR气体传感器，针对CH4和NH3气体实现小体积、高灵敏、低

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113358595 B (45)授权公告日 2023.04.11 (21)申请号 202110604520.3 G01N 21/27 (2006.01)

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