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2023-06-21 发布于四川
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本发明提供一种理论光谱数据的优化方法、系统、电子设备及测量方法，优化方法包括：获取一在X、Y方向均具有周期性结构的样品模型；获取样品模型在X、Y方向上的收敛级次对集合；设定收敛级次对组；遍历收敛级次对集合中的收敛级次对组，获取收敛级次对组中每一收敛级次对的去除均方误差；将去除均方误差与第一阈值进行比较，过滤所有小于第一阈值的去除均方误差对应的收敛级次对，形成优化级次对集合；获取优化级次对集合对应的理论光谱数据。本发明在收敛级次对集合中通过第一阈值过滤去除均方误差较小的收敛级次对，优化后的收敛级次

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113343182 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110736991.X (22)申请日 2021.06.30 (71)申请人上海精测半导体技术有限公司

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