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本发明涉及有机膜形成材料、有机膜形成方法、图案形成方法、以及化合物。本发明提供一种有机膜形成材料,其特征为包含下述通式(1)表示的化合物及有机溶剂。该通式(1)中,X为碳数2~50的n价有机基团或氧原子,n为1~10的整数,R1独立地为下述通式(2)中任一者。该通式(2)中,破折线表示键结到X的键结部位,Q1为含有羰基的1价有机基团,且至少一部分为下述通式(3)表示的基团。该通式(3)中,破折线表示键结部位,X1表示单键、或碳数1~20的2价有机基团,且该有机基团具有芳香环时也可具有取代基。R2
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113341646 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110219930.6
(22)申请日 2021.02.26
(30)优先权数据
2020-0347
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