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2023-06-21 发布于四川
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本发明属于树脂组合物，具体涉及一种感光树脂组合物及含有该感光树脂组合物的干膜抗蚀剂，其中，感光性树脂组合物，至少包含烯属光聚合性不饱和单体，所述烯属光聚合性不饱和单体由含有不饱和三聚氰胺（甲基）丙烯酸酯和分子结构中含有乙烯基不饱和键的化合物混合。本发明利用在感光树脂组合物内添加不饱和三聚氰胺（甲基）丙烯酸酯，三嗪环稳定的六元环结构增强其化学稳定性，同时在光聚合主链上引入氨基增强其对覆铜基材表面的结合力。此外通过对三聚氰胺的改性引入聚乙二醇链也有助于增强干膜抗蚀剂的柔韧性与亲水性，进一步提升了掩孔

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113341649 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110665940.2 (22)申请日 2021.06.16 (71)申请人杭州福斯特电子材料有限公司

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