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一种液晶曝光装置,对沿着XY平面移动之基板保持具(34)所保持之基板(P),在基板保持具(34)往X轴方向之移动中经由光学系统(16)照射照明光,其具有:标尺(52),根据基板保持具往X轴方向之移动而被测量;读头(66x、66y),根据基板保持具往X轴方向之移动,一边相对标尺(52)往X轴方向相对移动一边测量标尺(52);多个标尺(56),根据基板保持具往Y轴方向之移动而被测量,配置于在X轴方向彼此不同之位置;以及多个读头(64x、64y),对应标尺(56)之各个设置,且根据基板往Y轴方向之移动
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113359395 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110601500.0
(22)申请日 2016.09.29
(30)优先权数据
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