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提供一种能够在确保蒸发的蒸镀材料的指向性的同时保持较高的成膜速率的蒸镀源单元、蒸镀源和蒸镀源用喷嘴。蒸镀源单元(1)是一种使蒸镀材料蒸镀到基板的表面上的蒸镀源单元(1),其具有包括喷出口(21)的喷嘴(20),所述喷出口(21)喷出加热的蒸镀材料,喷嘴(20)上形成有沿与该喷嘴(20)的延伸方向相同方向延伸的多个孔(20a),该多个孔(20a)的一端部在喷出口(21)开口,孔(20a)的纵横比为2以上,孔(20a)的长度为分子的平均自由行程的1/5以下。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113373411 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110255176.1
(22)申请日 2021.03.09
(30)优先权数据
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