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本发明提供了一种靶材粗糙度的监测方法,所述监测方法包括如下步骤:(1)圆形靶材的溅射面均分为至少4个扇形区域;(2)分别对每个扇形区域的熔射区域进行测量,记录每个扇形区域的Ra与Rz值;(3)步骤(2)测量数值与预设值进行对比,当至少1个测量数据偏离预设值时,判定靶材粗糙度不合格;测量值均在预设值范围内时,判定靶材粗糙度合格。所述监测方法能够有效降低人工检测带来的误差,同时提高监测效率,保证后续磁控溅射镀膜的稳定性。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113340261 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110721511.2
(22)申请日 2021.06.28
(71)申请人 宁波
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