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铁电存储器器件包括多层堆叠件、沟道层、铁电层和除氧层。多层堆叠件设置在衬底上并且包括交替堆叠的多个导电层和多个介电层。沟道层穿透多个导电层和多个介电层。铁电层设置在沟道层与多个导电层和多个介电层之间。除氧层沿着多个导电层的侧壁设置。多个除氧层将铁电层与多个导电层横向分隔开。本发明的实施例还涉及铁电存储器器件的形成方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113380828 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110259186.2
(22)申请日 2021.03.10
(30)优先权数据
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