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粒子束系统、操作粒子束系统的方法以及计算机程序产品.pdfVIP

粒子束系统、操作粒子束系统的方法以及计算机程序产品.pdf

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    本发明涉及允许借助于气体(45)处理低温样本(5)的粒子束系统(1)和用于操作粒子束系统(1)的方法。根据本发明，气体以局部受限的方式释放在粒子束系统(1)的真空腔室(29)中的样本(5)的表面附近。气体(45)的温度适于样本(5)的温度。如果合适的话，气体(45)例如通过热交换器(51)冷却，该热交换器布置在粒子束系统(1)的真空腔室29)中并且借助于冷却介质或借助于冷却元件来对气体(45)进行冷却。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113363126 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110237457.4 (22)申请日 2021.03.03 (30)优先权数据 102020105

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