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本发明提供一种太赫兹开关及太赫兹波光信号控制方法,太赫兹开关包括:MOS器件单元(003)和偏置电压(004);其中,偏置电压(004)用于调节MOS器件单元(003)的电位,使MOS器件单元(003)中产生反型层(0038),反型层(0038)用于阻断太赫兹波光信号在MOS器件单元(003)中的传播。本发明的太赫兹开关通过调节偏置电压的大小,可以在MOS器件单元中产生阻断太赫兹波的反型层,进而控制太赫兹波在MOS器件单元中的传播。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113359329 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110611221.2
(22)申请日 2021.06.01
(71)申请人 中国科学院半导体研究所
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