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2023-06-21 发布于四川
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一种靶材生坯摆放用布粉器及平面靶材的烧结方法.pdf

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本发明涉及一种靶材生坯摆放用布粉器及平面靶材的烧结方法，在承烧板上用辅助滑动粉堆成多个粉堆，再将靶材生坯平放于粉堆上进行烧结，每个粉堆之间间隔有一定距离且粉堆的顶点高于承烧板的顶面，通过减小靶材生坯与辅助滑动粉和承烧板的接触面积以避免靶材生坯与辅助滑动粉和承烧板紧密接触，提高靶材与承烧板之间的透气性，使靶材得以充分烧结，且烧结过程中的助剂挥发物也能通过相邻粉堆间的透气间隔顺利排出。辅助滑动粉形成粉堆后的滑动效果要优于现有技术平铺一层的滑动效果，能更好地降低靶材与承烧板之间的摩擦阻力，使靶材生坯在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113340114 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110752160.1 (22)申请日 2021.06.30 (71)申请人广州市尤特新材料有限公司

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