- 1、本文档共12页,其中可免费阅读11页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种MEMS加速度计低应力集成封装结构及方法,所述MEMS加速度计包括MEMS加速度计芯片、ASIC芯片、应力隔离框架、封装管壳和封装盖板;MEMS加速度计芯片,固定在封装管壳基底上;应力隔离框架为倒U型盖板,倒U型盖板与封装管壳底部相粘结,跨在MEMS加速度计芯片上,所述ASIC芯片粘结在应力隔离框架上表面,实现与MEMS加速度计芯片的隔离式堆叠布置;MEMS加速度计芯片的电极焊盘与对应的ASIC芯片电极焊盘互连,所述ASIC芯片的电极焊盘与对应的封装管壳上的焊盘进行金丝键合,实现
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113371668 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110475798.5
(22)申请日 2021.04.29
(71)申请人 北京航天控制仪器研究所
您可能关注的文档
- 一种铜镍合金无缝四通管件成型方法.pdf
- 道路长下坡路段的预警系统.pdf
- 一种可调的流量测定装置高压喷嘴.pdf
- 一种茶叶杀青理条机构.pdf
- 一种强反光型反光纸及其生产设备.pdf
- 沉积氧化铝纳米涂层的柔性铜网及其制备方法和应用.pdf
- 一种制备四氢呋喃二甲醇二烷基醚的方法.pdf
- 海洋微藻培养与养殖废水净化相耦合产岩藻黄素的方法.pdf
- 一种收集和控制生活垃圾发酵释放恶臭气体的装置及其应用.pdf
- 一种高温热风快速仿形茶叶杀青理条方法.pdf
- 2024年培南类抗菌药物项目资金筹措计划书代可行性研究报告.docx
- 2024年基建金融项目资金需求报告代可行性研究报告.docx
- 2024年卤代烃项目资金需求报告代可行性研究报告.docx
- 2024年工业色谱仪项目资金需求报告代可行性研究报告.docx
- 2024年烤漆设备项目投资申请报告代可行性研究报告.docx
- 2024年管角钢项目资金需求报告代可行性研究报告.docx
- 2024年锻压设备项目资金需求报告代可行性研究报告.docx
- 2024年GSM移动通信手机项目资金申请报告代可行性研究报告.docx
- 2024年互联网信息技术服务项目投资申请报告代可行性研究报告.docx
- 2024年批发服务项目投资申请报告代可行性研究报告.docx
文档评论(0)