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本发明公开了一种硅磷合金的制备方法，它涉及半导体材料技术领域。具体步骤如下：将器具洗净并烘干；按照重量百分比分别称取硅单质和红磷单质；将硅单质和红磷单质放入器具内，并使用抽真空设备对石英管抽真空，再对石英管进行真空封管；将石英管放进高压水平炉，并使硅单质处于高压水平炉的高温区，红磷单质处于高压水平炉的低温区，石英块处于高压水平炉的高温区和低温区之间；在石英舟两端分别放置测温热电偶；对石英管进行变温处理；控制石英管内外压强平衡；合金合成，将石英管切开，取出合金材料。本发明的优点在于：合金制备在密闭
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113371714 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110504203.4
(22)申请日 2021.05.10
(71)申请人 如皋市化合物半导体产业研究所
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