用于制造镍互连件的组合物和方法.pdfVIP

用于制造镍互连件的组合物和方法.pdf

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一种用于通路填充或势垒镍互连件制造的镍电沉积组合物，该镍电沉积组合物包含：(a)镍离子源；(b)一种或多种极化添加剂；和(c)一种或多种去极化添加剂。该镍电沉积组合物可包含各种添加剂，包括合适的酸、表面活性剂、缓冲剂和/或应力调节剂，以产生通路和沟槽的自下而上填充。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366156 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202080009400.2 凯尔 ·惠滕　 (22)申请日 2020.01.

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