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本发明公开了一种应用悬臂梁与固支梁结构的多层薄膜残余应力和杨氏模量测试结构,其测试结构为由多层薄膜组成的复合悬臂梁和复合两端固支梁;本发明还公开了一种应用悬臂梁与固支梁结构的多层薄膜残余应力和杨氏模量测试方法,该方法使用静电驱动测量各测试结构的吸合电压;将吸合电压送入提取程序计算,即可得各层薄膜的残余应力和杨氏模量;本发明测试方法简单,且能满足工艺线在线测试的精度要求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113358252 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 202110639892.X 审查员 刘妍
(22)申请日 2021.06.09
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