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本发明公开一种基于相变材料的空间光型电光调制器件及其制造方法，该器件由衬底、下电极层、相变层、上电极层和覆盖层多层复合结构构成，其中上下电极层分别包含规则排列的N位和M位金属微纳光栅，作为器件的电极和光场调控单元。通过控制上下电极偏压，使相变材料形成不同晶化程度的相变区域，导致光学介电常数发生显著改变，从而对器件的反射光与共振吸收峰进行动态电致调制。本发明的器件可实现具有N×M面阵单元的空间光调制，工作频段位于3~10微米的中红外波段。相变材料在非晶态时，器件能够实现接近100%的完美吸收；非晶
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113376870 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110545446.2
(22)申请日 2021.05.19
(71)申请人 杭州电子科技大学
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