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本发明提供了一种用于制备二维材料的方法，其包括：(1)：将衬底置于化学气相沉积系统中，高温退火衬底；(2)：将表面改性材料粘贴在经退火的衬底的表面上；(3)：将表面改性材料移除；(4)：将用于形成二维材料的物质与经表面改性处理的衬底依次放置于三温区化学气相沉积系统的第一温区、第二温区与第三温区，形成二维材料；(5)：停止氧气的通入，停止加热，自然降温至室温取出样品；(6)：将二维材料与衬底分离，得到目标产物。本发明可实现二维材料与衬底轻松剥离，避免引入污染物与缺陷，有效保证了样品的质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113337807 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110517464.X
(22)申请日 2021.05.12
(71)申请人 中国科学院物理研究所
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