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本发明涉及半导体晶体生长技术领域，公开了一种降低晶体生长炉装配高度的组件及使用方法，其中组件包括承重板，其顶部适用于固定晶体生长炉；活动支撑组件安装于承重板的底部，并可驱动承重板进行升降动作；一组固定支撑组件可在承重板和晶体生长炉到达设计高度时，固定支撑于承重板的底部且分设于活动支撑组件的两侧；活动支撑组件适于在晶体生长炉安装到预设位置时，从承重板底部拆除。可以在较低位置先进行承重板与晶体生长炉的安装固定，之后再利用活动支撑件将晶体生长炉和承重板提升到合适的高度，接着利用固定支撑组件进行支撑固定
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113337897 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110546770.6
(22)申请日 2021.05.19
(71)申请人 深圳大学
地址 51
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