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提供了具有多层堆叠件的铁电存储器件,该多层堆叠件的布置在衬底上方并且包括交替堆叠的多个导电层与多个介电层。沟道层穿透多个导电层和多个介电层。多个铁电部分离散地布置在沟道层与多个导电层之间。多个铁电部分彼此垂直分隔开一个或多个非零距离。本申请的实施例还涉及形成铁电存储器件的方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113380823 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110474606.9 H01L 27/11597 (2017.01)
(22)申请日
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