硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法、系统、设备及存储介质.pdfVIP

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2023-06-21 发布于四川
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本申请实施例提供一种硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法、系统、设备及存储介质，涉及微机电传感器技术领域，采用本申请提供的硅基谐振式传感器温度稳定性提升方法，按照晶向角优化步长增加谐振式传感器的晶向角进行有哪些信誉好的足球投注网站，对于每一次有哪些信誉好的足球投注网站，在多个测试温度下对所述谐振式传感器进行模态仿真，获取在该晶向角下的谐振频率温度变化量，有哪些信誉好的足球投注网站完成后汇总谐振频率温度变化量找到最优晶向角。本申请可以高效、便捷地确定使硅谐振式传感器频率温度漂移最小的加工晶向，提升传感器的温度稳定性。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113343520 B (45)授权公告日 2022.05.13 (21)申请号 202110578205.8 (56)对比文件 (22)申请日 2021.05.26

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