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本发明提供一种增强基管与靶材涂层之间结合强度的方法,首先对不锈钢管的基管通过旋转溅射方式进行喷砂,喷砂采用的钢砂为SUS304CW1.0不锈钢丝切丸与SUS304s1.0不锈钢丝圆丸按1:2混合而成,喷砂压力0.6‑0.7Mpa,这样增加喷砂效率,提高基管表面粗糙度,之后以旋转溅射的方式使融化的镍铝丝均匀溅射至背管表面,镍铝丝线径为φ2±0.1mm,电流215±15A,送丝速度5‑5.5m/min,这样溅射对基管进行打底,进一步提高基管表面粗糙度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113355628 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110564951.1
(22)申请日 2021.05.24
(71)申请人 芜湖
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