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2023-06-21 发布于四川
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一种支撑电极及加热器和单晶炉.pdf

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本发明提供一种支撑电极及加热器和单晶炉。所述支撑电极包括石墨电极和铜电极，支撑电极为非通电电极，其中，石墨电极位于铜电极的上方，石墨电极为中空结构以减小石墨电极的传热截面积，其内部填充有隔热材料以防止石墨电极的辐射热传入铜电极，从而降低铜电极的温度；铜电极上部与石墨电极下部连接，铜电极上部插入石墨电极的中空结构中并与隔热材料接触，铜电极下部具有通冷却水的槽体。本发明通过减小支撑电极的石墨电极的传热截面积，达到减少热量传入铜电极的目的，减小了非通电电极的热量流失，使热场的热分布更加均匀。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113337896 A (43)申请公布日 2021.09.03 (21)申请号 202110463329.1 (22)申请日 2021.04.23 (71)申请人上海新昇半导体科技有限公司

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