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方法包括：在第一芯片的前侧上形成集成电路；对该第一芯片执行背侧研磨以露出该第一芯片中的多个导通孔；以及使用镶嵌工艺在该第一芯片的背侧上形成第一桥式结构。该桥式结构具有第一接合焊盘、第二接合焊盘以及将该第一接合焊盘电连接到该第二接合焊盘的导电迹线。该方法还包括通过面对背接合将第二芯片和第三芯片接合到该第一芯片。该第二芯片的第三接合焊盘接合到该第一芯片的该第一接合焊盘。该第三芯片的第四接合焊盘接合到该第一芯片的该第二接合焊盘。本申请的实施例还涉及半导体封装件及其形成方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113363162 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110466169.6
(22)申请日 2021.04.28
(30)优先权数据
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