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2023-06-21 发布于四川
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制备方法及选择性发射极太阳能电池.pdf

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本发明提供了一种选择性发射极太阳能电池的制备方法，包括：对制绒后的硅片绒面一侧进行重掺杂扩散处理，形成PSG层与重掺杂层；在硅片的正面印制掩膜层后烘干，其中，掩膜层与正电极在硅片上的位置对应；将硅片置于腐蚀液中，通过腐蚀液腐蚀未被掩膜层覆盖的PSG层以及位于硅片表层的重掺杂层，使硅片形成轻掺杂层；通过清洗液去除位于未被腐蚀的重掺杂层上的掩膜层以及掩膜层下的PSG层；对硅片退火处理并在其背面镀制钝化膜；在硅片的正面丝网印刷正电极，在背面印刷背电极与背电场，其中，正电极与硅片上未被腐蚀的重掺杂层对应

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113380922 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110551380.8 H01L 31/0224 (2006.01)

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