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一种质量流量控制器,包括比例电磁阀、阀座、第一管路组件、第二管路组件、保护罩;阀座的两侧面下端各连接有第一管路组件;保护罩两侧对角方向各连接有第二管路组件;比例电磁阀和阀座之间、阀座和保护罩之间与阀座和保护罩之间分别设有第一密封垫、第二密封垫与第三密封垫,密封垫均为紫铜材质。本发明保护罩和比例电磁阀之间形成一个空腔体内并且相关的密封方式均是金属硬密封,通过第二管路在这个空腔体内充满同种高纯气体,保证内外气体一致。这样能有效的防止留在空腔中的其他气体通过比例电磁阀渗入第一管路中,保证了第一管路中高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113374949 A
(43)申请公布日 2021.09.10
(21)申请号 202110554479.3 F17D 1/02 (2006.01)
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