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本发明的课题在于在将直径50μm以下的微小粒子排列于基材上的情况下,抑制微小粒子的缺陷的产生。解决方法为一种微小粒子排列用掩模,其为用于将直径50μm以下的微小粒子排列于基材上的微小粒子排列用掩模,微小粒子排列用掩模具有用于被微小粒子插入的贯通孔,贯通孔的微小粒子供给侧的开口面的面积比微小粒子排出侧的开口面的面积小,在将从微小粒子供给侧的开口面朝向微小粒子排出侧的开口面的方向设为z轴正方向、将贯通孔的与z轴垂直的截面积设为A的情况下,在贯通孔内的z轴方向的整个区域中dA(z)/dz0成立,并且
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113366618 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202080011787.5 (74)专利代理机构 北京挚诚信奉知识产权代理
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