流路组件、使用该流路组件的阀装置、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法.pdfVIP

流路组件、使用该流路组件的阀装置、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法.pdf

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提供一种流路组件,其组装有节流件、过滤件等功能部件,其中,功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f),所述第2流路构件具有对板状构件的表面进行支承的由平坦面形成的第2密封面、以及对环状密封构件的外周面进行支承的第3密封面,对于环状密封构件,该环状密封构件的另一端面被按压于板状构件的背面,该环状密封构件的一端面被按压于第1流路构件的第1密封面,该环状密封构件的外周面被按压于第2流路构件的第3密

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113366251 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202080011998.9 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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