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本申请提供一种薄膜吸气剂及其制备方法。所述薄膜吸气剂包括衬底及形成于所述衬底上的吸气层，所述吸气层为疏松多孔结构，所述吸气层中钛的质量含量大于或等于90％。所述薄膜吸气剂还包括形成于所述衬底与所述吸气层之间的阻挡层，所述阻挡层的孔隙率小于所述吸气层的孔隙率，所述阻挡层中钛的质量含量大于或等于90％；和/或，所述薄膜吸气剂还包括形成于所述吸气层背离所述衬底的一侧的保护层，所述保护层的孔隙率小于所述吸气层的孔隙率，所述保护层中钛的质量含量大于或等于90％。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113337800 A
(43)申请公布日
2021.09.03
(21)申请号 20201
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