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射频压电谐振器空气反射腔的制备方法.pdfVIP

射频压电谐振器空气反射腔的制备方法.pdf

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    本发明提供了射频压电谐振器空气反射腔的制备方法，包括：在衬底层的上表面形成空气反射腔所需形状的牺牲层，在牺牲层外侧形成射频压电谐振器，然后刻蚀去除牺牲层；或者，在凹形的衬底层的凹槽中填充牺牲层材料形成牺牲层，在牺牲层外侧形成射频压电谐振器，然后刻蚀去除牺牲层。本发明提供的两种射频压电谐振器空气反射腔的制备方法填补了空气腔体制备的空白。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113364419 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202010148858.8 (22)申请日 2020.03.05 (71)申请人 合肥

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