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本发明涉及泄漏检查装置以及泄漏检查方法。本发明的泄漏检查装置具备：检查机构，实施第一检查工序和第二检查工序，所述第一检查工序是对第一被检查室内和基准室内进行加压并基于它们的压差来检查所述第一被检查室的压力泄漏的工序，所述第二检查工序是对第二被检查室内和所述基准室内进行加压并基于它们的压差来检查所述第二被检查室的压力泄漏的工序；第一预压阀，对第一预压路进行开闭；以及控制装置，在所述第一检查工序的实施过程中打开所述第一预压阀来对所述第二被检查室内进行预压，在所述第二被检查室内被进行了预压的状态下通过
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113358292 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110219470.7
(22)申请日 2021.02.26
(30)优先权数据
2020-0360
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