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本发明涉及一种封闭膜结构MEMS红外光源及其制备方法。所述红外光源包括支撑层、加热层、隔离层、金属电极以及辐射层。支撑层为沉积于承载衬底表面的封闭膜结构；加热层沉积于支撑层表面，并形成内疏外密插热结构，金属电极沉积于支撑层表面并且与加热层侧面相连；隔离层沉积于加热层表面；辐射层沉积于隔离层表面；支撑层、加热层、隔离层和辐射层均悬浮在背部空腔的承载衬底上形成封闭膜结构。不同于传统MEMS红外光源，本发明不仅工艺简单、成本低、易于批量化生产，而且结构稳定性高、温度场均匀，适用于便携式、微型化的气敏检
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113336184 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110623306.2 G01N 21/3504 (2014.01)
(22)申请日
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